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發(fā)布時間：2019.12.02 新聞來源：江蘇浩元動力科技有限公司,鎮(zhèn)江無線電專用設(shè)備廠有限公司,鎮(zhèn)江市美華機電產(chǎn)品有限公司 瀏覽次數(shù)：

    薄膜太陽能電池設(shè)備設(shè)計準則，包括以下步驟：對具有導(dǎo)電層的基板進行一激光制程，以形成圖案化導(dǎo)電層，圖案化導(dǎo)電層暴露出部分基板；測量圖案化導(dǎo)電層電性；沉積半導(dǎo)體材料層于基板上并覆蓋圖案化導(dǎo)電層，沉積半導(dǎo)體材料層的方法采用不含四氫化硅(SiH4)的設(shè)備；對半導(dǎo)體材料層進行二激光制程，以形成圖案化半導(dǎo)體層，圖案化導(dǎo)電層暴露出部分圖案化導(dǎo)電層；形成另一導(dǎo)電層于基板上并覆蓋圖案化半導(dǎo)體層；對另一導(dǎo)電層及其覆蓋的圖案化半導(dǎo)體層進行第三激光制程，以形成暴露出部分圖案化導(dǎo)電層的另一圖案化導(dǎo)電層。本發(fā)明可在低成本的情況下制作出薄膜太陽能電池，并可有效避免公共危險。

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