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薄膜太陽能電池設備的設計步驟發布時間:2021.07.30 新聞來源:江蘇浩元動力科技有限公司,鎮江無線電專用設備廠有限公司,鎮江市美華機電產品有限公司 瀏覽次數:
薄膜太陽能電池設備設計準則,包括以下步驟:對具有導電層的基板進行一激光制程,以形成圖案化導電層,圖案化導電層暴露出部分基板;測量圖案化導電層電性;沉積半導體材料層于基板上并覆蓋圖案化導電層,沉積半導體材料層的方法采用不含四氫化硅(SiH4)的設備;對半導體材料層進行二激光制程,以形成圖案化半導體層,圖案化導電層暴露出部分圖案化導電層;形成另一導電層于基板上并覆蓋圖案化半導體層;對另一導電層及其覆蓋的圖案化半導體層進行第三激光制程,以形成暴露出部分圖案化導電層的另一圖案化導電層。本發明可在低成本的情況下制作出薄膜太陽能電池,并可有效避免公共危險。
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