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薄膜太陽能電池設(shè)備的設(shè)計準則發(fā)布時間:2018.06.05 新聞來源:江蘇浩元動力科技有限公司,鎮(zhèn)江無線電專用設(shè)備廠有限公司,鎮(zhèn)江市美華機電產(chǎn)品有限公司 瀏覽次數(shù):
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薄膜太陽能電池設(shè)備設(shè)計準則,包括以下步驟:對具有導電層的基板進行第一激光制程,以形成圖案化導電層,圖案化導電層暴露出部分基板;測量圖案化導電層電性;沉積半導體材料層于基板上并覆蓋圖案化導電層,沉積半導體材料層的方法采用不含四氫化硅(SiH4)的設(shè)備;對半導體材料層進行第二激光制程,以形成圖案化半導體層,圖案化導電層暴露出部分圖案化導電層;形成另一導電層于基板上并覆蓋圖案化半導體層;對另一導電層及其覆蓋的圖案化半導體層進行第三激光制程,以形成暴露出部分圖案化導電層的另一圖案化導電層。本發(fā)明可在低成本的情況下制作出薄膜太陽能電池,并可有效避免公共安全危險。
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